1.本技术涉及扫描电镜技术领域，更具体地说涉及一种样品接入装置，还涉及一种扫描电镜。
背景技术：2.扫描电镜是一种电子光学仪器，利用聚焦电子束在样品表面进行逐行扫描，电子束轰击样品表面产生二次电子或背散射电子，其产生的效率与样品表面形貌或材料相关，将样品表面产生的二次电子或背散射电子收集起来，并将样品表面电子束扫描的位置和产生的二次电子或背散射电子的数量用二维图像的形式表示，即得到扫描电镜的二次电子图像或背散射电子图像。扫描电镜图像的分辨率可达到纳米级甚至优于1.0纳米，在新材料、新能源、国防、科学研究等领域起着无法替代的作用。
3.扫描电镜主要是对不同的样品进行观察。当频繁对多件样品进行观察时，需要反复将样品承载台移出扫描电镜光学系统中，然后更换不同的样品至样品承载台，然后再将样品承载台放置到扫描电镜光学系统中。传统的样品承载台需要辅助紧固件来完成拆装操作，拆装过程较为繁琐、费时，进而影响样品观察效率。
技术实现要素：4.有鉴于此，本技术提供了一种样品接入装置。本技术还提供了具有上述样品接入装置的一种扫描电镜。
5.为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种样品接入装置，包括：
7.承载装夹组件，用于承载样品；
8.装夹台组件，拆卸式容纳所述承载装夹组件；
9.定位组件，设置在所述装夹台组件上；
10.其中：
11.当所述承载装夹组件推进所述装夹台组件内时，所述定位组件对所述承载装夹组件进行定位；
12.当所述承载装夹组件退出所述装夹台组件时，所述定位组件对所述承载装夹组件解除定位。
13.可选的，上述样品接入装置中，所述定位组件为弹性定位组件；所述弹性定位组件通过弹性变形对所述承载装夹组件进行定位或者解除定位。
14.可选的，上述样品接入装置中，所述弹性定位组件包括：侧边弹性件和顶边弹性件；
15.其中，
16.当所述承载装夹组件推进所述装夹台组件内时，所述侧边弹性件被所述承载装夹组件的侧边挤压；同时所述顶边弹性件被所述装夹台组件的顶边挤压。
17.可选的，上述样品接入装置中，所述装夹台组件包括：台体；所述台体形成限位止动空间；所述承载装夹组件能够被定位在所述限位止动空间内。
18.可选的，上述样品接入装置中，所述限位止动空间具有侧壁；
19.所述侧边弹性件为侧边弹性片；
20.所述侧边弹性片设置于所述侧壁，所述侧边弹性片向所述限位止动空间的中心凸出。
21.可选的，上述样品接入装置中，所述限位止动空间具有顶壁；
22.所述顶边弹性件为顶边弹性片；
23.所述顶边弹性片设置于所述顶壁，所述顶边弹性片向所述限位止动空间的中心凸出。
24.可选的，上述样品接入装置中，所述限位止动空间具有顶壁；所述顶壁上开设有限位卡槽；所述承载装夹组件在所述限位卡槽限定的方向上移动。
25.可选的，上述样品接入装置中，所述承载装夹组件包括：装夹块、限位块和样品承载台；
26.所述装夹块的形状与所述限位止动空间的形状适配；
27.所述限位块连接在所述装夹块的顶端，所述限位块在所述限位卡槽限定的空间内移动；
28.所述样品承载台安装于所述限位块的顶端，用于承接样品。
29.可选的，上述样品接入装置中，所述承载装夹组件还包括装夹把手；所述装夹把手安装在所述装夹块不会进入所述限位止动空间的一端。
30.一种扫描电镜，包括样品接入装置，所述样品接入装置为上述任一项所述的样品接入装置。
31.本技术提供的样品接入装置，将装夹台组件固定安装在扫描电镜的观察腔室内，定位组件安装在装夹台组件上；承载装夹组件用于承载样品；将承载装夹组件推进装夹台组件的同时，定位组件对承载装夹组件进行定位，进而实现了样品在扫描电镜的观察腔室内的固定；将承载装夹组件退出装夹台组件的同时，定位组件对承载装夹组件解除定位，进而实现了样品在扫描电镜的观察腔室内的拆除；上述结构使用快捷、方便、可靠、易于操作、省时省力，整个设计即保证了功能实现又提升了作业效率。
附图说明
32.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
33.图1为本实用新型承载装夹组件推进装夹台组件的结构示意图；
34.图2为本实用新型承载装夹组件拉出装夹台组件的结构示意图；
35.图3为图2的主视图；
36.图4为图2的侧视图；
37.图5为图2的俯视图；
38.图6为图4的剖视图；
39.图7为本实用新型的弹性定位组件的结构示意图。
40.在图1-图7中：
41.1-承载装夹组件，2-装夹台组件、3-定位组件；
42.101-装夹块，102-限位块，103-样品承载台，104-装夹把手，201-台体，202-台座，301-侧边弹性件，302-顶边弹性件。
具体实施方式
43.本技术提供了一种样品接入装置。
44.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
45.如图1-图7所示，本技术实施例提供了一种样品接入装置，包括：承载装夹组件1、装夹台组件2和定位组件3；其中，承载装夹组件1包括装夹部和承载部，装夹部用于推拉式进出装夹台组件2，承载部设置于装夹部的顶端，承载部的顶端放置样品；装夹台组件2固定设置在扫描电镜的观察腔室内，装夹台组件2内形成有容置空间，容置空间具有壁；定位组件3设置在容置空间的壁上；
46.当承载装夹组件1的装夹部推进装夹台组件2的容置空间内时，定位组件3对装夹部进行定位；进而实现了装夹部在容置空间内的固定，进而实现了承载样品的样品部在容置空间内的固定，进而实现了样品在扫描电镜的观察腔室内的接入；
47.当承载装夹组件1的装夹部退出装夹台组件2的容置空间内时，定位组件3对装夹部解除定位；进而实现了装夹部在容置空间内的脱离，进而实现了承载样品的样品部在容置空间内的脱离，进而实现了样品在扫描电镜的观察腔室内的拆除。
48.上述结构使用快捷、方便、可靠、易于操作、省时省力，整个设计即保证了功能实现又提升了作业效率。
49.在本实用新型某些实施例中，定位组件3为弹性定位组件；弹性定位组件通过弹性变形对承载装夹组件1进行定位或者解除定位。
50.具体的，装夹台组件2内形成有容置空间，弹性定位组件设置在容置空间的壁上。当承载装夹组件1推进装夹台组件2内时，承载装夹组件1的壁抵压弹性定位组件，弹性定位组件发生弹性变形；直至承载装夹组件1完全推进容置空间，弹性定位组件在容置空间的壁和承载装夹组件1的壁之间产生弹性力，进而将承载装夹组件1牢靠限位束缚在容置空间内。
51.当承载装夹组件1退出装夹台组件2内时，承载装夹组件1的壁与弹性定位组件的抵压接触逐渐脱离；直至承载装夹组件1完全退出容置空间，承载装夹组件1与装夹台组件2解除定位。
52.上述弹性定位组件的结构简单，通过在承载装夹组件1与装夹台组件2之间的间隙内设置产生弹性变形力的弹性定位组件，进而将承载装夹组件1定位或者接解除定位在容置空间内。本实用新型通过结构间隙余量易于承载装夹组件1的安装固定与退出，进而实现
了样品的快速接入和退出。
53.此外，定位组件3也可以采用其他结构，例如设置为拔插定位组件；拔插定位组件包括：插头和插孔；插头设置在承载装夹组件1上；插孔设置在装夹台组件2上；当承载装夹组件1推进装夹台组件2内时，插头固定插接在插孔内，进而实现通过拔插定位组件将承载装夹组件1固定在装夹台组件2内；当承载装夹组件1退出装夹台组件2内时，插头脱离插孔的束缚，进而承载装夹组件1脱离装夹台组件2。
54.在本实用新型某些实施例中，弹性定位组件包括：侧边弹性件301和顶边弹性件302；
55.当承载装夹组件1推进装夹台组件2内时，侧边弹性件301被承载装夹组件1的侧边挤压；同时顶边弹性件302被装夹台组件2的顶边挤压。
56.承载装夹组件1推进装夹台组件2内时，承载装夹组件2的侧壁与容置空间的侧壁之间存在侧边间隙；同时承载装夹组件1的顶壁与容置空间的顶壁之间存在顶部间隙；通过在侧边间隙内设置产生弹性变形力的侧边弹性件301，以及在顶边间隙内设置产生弹性变形力的顶边弹性件302，实现了对承载装夹组件1的多方向施力，当承载装夹组件1进入容置空间内时，受到了多个方向的弹性力，承载装夹组件1在容置空间内的定位更加牢固、准确。
57.进一步的，侧边弹性件301设置有两个，对称设置在容置空间与承载装夹组件1进出方向平行的两侧壁上。侧边弹性件设置有两个，实现了对承载装夹组件1左右方向施力，当承载装夹组件1进入容置空间内时，受到了上、左、右三个方向的弹性力，承载装夹组件1在容置空间内的定位更加牢固、准确。
58.在本实用新型某些实施例中，装夹台组件2包括：台体201；台体201形成限位止动空间；承载装夹组件1能够被定位在限位止动空间内。
59.具体的，装夹台组件2还包括：台座202，台体201围设在台座202上，并且在台体201的侧壁上预留出供承载装夹组件1进出的开口；台体201的侧壁和顶壁与台座202的底壁构造成限位止动空间。当承载装夹组件1推进装夹台组件2时，并且在承载装夹组件1插入到位时，限位止动空间的壁对承载装夹组件1进行了阻挡，使得承载装夹组件1可以更加精确的定位在限位止动空间内。
60.此外，也可以不设置台体，而是通过操作人来控制承载装夹组件1的插入量。
61.进一步的，台体201拆卸式安装在台座202上；再进一步的，台体201螺纹连接在台座202上。通过上述结构的设置，台座202可以快速安装在台体201上；台体201与台座202可拆卸式结构的设置便于整体产品的生产、安装。
62.在本实用新型某些实施例中，限位止动空间具有侧壁；
63.侧边弹性件301为侧边弹性片；
64.侧边弹性片设置于侧壁，侧边弹性片向限位止动空间的中心凸出。
65.在本实用新型某些实施例中，限位止动空间具有顶壁；
66.顶边弹性件302为顶边弹性片；
67.顶边弹性片设置于顶壁，顶边弹性片向限位止动空间的中心凸出。
68.使用弹性片，不仅占据空间小、不会对承载装夹组件1顺利进出造成较大影响，并且结构简单、方便安装。
69.其中，侧边弹性片和顶边弹性片可以作为独立部件，分别独立设置在限位止动空
间的侧壁和顶壁。侧边弹性片和顶边弹性片分别可以灵活调整自己的设置位置，灵活适用性强。
70.其中，侧边弹性片和顶边弹性片也可以设置成一体化连接的结构，整体结构设置在限位空间内；具体的：弹性定位组件还包括：中间连接片；所述中间连接片为方形结构；顶边弹性片连接在中间连接片的顶边；顶边弹性片径直延伸方向的两边沿分别贴合限位止动空间的顶壁；侧边弹性片连接在中间连接片靠近限位止动空间壁的侧边，侧边弹性片径直延伸方向的两边沿分别贴合限位止动空间的侧壁。
71.进一步的，中间弹性片拆卸式安装在限位止动空间与开口位置相对的侧壁上；中间弹性片的中间开设有安装孔；通过连接件穿过安装孔，进而将弹性定位组件螺纹连接在限位止动空间内。
72.此外，中间弹性片的拆卸式安装也可以采用其他结构，例如，在中间弹性片上设置卡接条，在限位止动空间的壁上设置与卡接条相适配的卡接槽；通过卡接条卡接在卡接槽内，进而将弹性定位组件卡接在限位止动空间内。
73.进一步的，弹性定位组件设置有两组，对称位于限位止动空间与开口位置相邻的两侧。对称设置的两组弹性定位组件保证了承载装夹组件1受到了左右对称方向的弹性力，承载装夹组件1在容置空间内的移动更加平稳，定位更加牢固、准确。
74.将侧边弹性片和顶边弹性片设置成一体化连接的结构，弹性定位组件可以作为一个整体拆卸式安装在台体的侧壁上，即限位止动空间的侧壁上。上述结构不仅简单、成本低，而且拆装式的结构非常便于整体产品的生产、安装。
75.在本实用新型某些实施例中，侧边弹性件301也可以为侧边橡胶条；侧边橡胶条设置于限位止动空间的侧壁；并且侧边橡胶条径直延伸方向的厚度由限位止动空间的开口至限位止动空间内部逐渐加厚；顶边弹性件301也可以为顶边橡胶条；顶边橡胶条设置于限位止动空间的顶壁；并且顶边橡胶条径直延伸方向的厚度由限位止动空间的开口至限位止动空间内部逐渐加厚。
76.在本实用新型某些实施例中，限位止动空间具有顶壁；顶壁上开设有限位卡槽；承载装夹组件1在所述限位卡槽限定的方向上移动。
77.具体的，限位卡槽限定的方向为径向延伸方向；径向延伸空方向与限位止动空间的开口垂直；
78.承载装夹组件1沿径向延伸方向推进限位止动空间时，直至承载装夹组件1接触限位卡槽与限位卡槽开口位置相对的槽壁时，停止推进。限位卡槽限定了承载装夹组件1接入装夹台组件2的移动方向；同时通过限位卡槽保证了承载装夹组件1推拉过程中不会发生左右晃动，运动更加平稳可靠。此外，也可以不设置限位卡槽，而是通过人工控制承载装夹组件的移动方向。
79.在本实用新型某些实施例中，承载装夹组件1包括：装夹块101、限位块102和样品承载台103；
80.装夹块101的形状与限位止动空间的形状适配；
81.限位块102连接在装夹块101的顶端，限位块102在限位卡槽限定的空间内移动；
82.样品承载台103安装于限位块102的顶端，用于承接样品。
83.具体的，限位止动空间为立方体空间；装夹块101为立方体块，并且装夹块101的体
积小于限位止动空间的容积。
84.进一步的，限位块102为圆柱形结构；限位块102的直径与限位卡槽开口的直径适配，限位块102的直径略小于限位卡槽开口的直径。
85.进一步的，限位卡槽与限位卡槽开口位置相对的槽壁形状为与限位块102侧壁相适配的弧形。
86.通过上述结构的设置可以更好的保证装夹块能够适配卡接在限位止动空间内；限位块102卡接在限位卡槽内，保证了承载装夹组件1在推拉的过程中不会出现左右晃动，推拉动作更加平稳可靠。
87.进一步的，装夹块101和限位块102的中间位置开设有竖直向下贯通连接的通孔；样品承载台103包括：平台部和穿插部；平台部用于承载样品；穿插部设置于平台部的底部中心，用于穿插设置于通孔内。
88.进一步的，通孔的侧壁上开设有贯通的固定孔；通孔的中心轴与固定孔的中心轴垂直；穿插部穿插进通孔内时，通过紧固螺栓旋进固定孔，实现穿插部在通孔中的牢靠定位。上述结构的设置保证了样品可以在竖直高度上进行灵活调整。
89.样品承载台103可拆卸式的安装方式，保证了整体产品的生产、安装更加便捷快速。
90.在本实用新型某些实施例中，承载装夹组件1还包括：装夹把手104；装夹把手104安装在装夹块101不会进入限位止动空间的一端。
91.装夹把手的设置方便了承载装夹组件的推拉动作，样品装入的过程更加便捷快速。
92.进一步的，装夹把手的形状为u型架结构，u型架的开口端连接在装夹块101上；u型架的开口端的连线与竖直中心轴呈45
°
倾斜角。如此设置可以保证手握装夹把手的空间更广。
93.进一步的，装夹把手的开口端连接在把手安装板上；把手安装板螺纹连接在装夹块101上。
94.把手可拆卸式的安装方式，保证了整体产品的生产安装更加便捷、快速。
95.在上述样品接入装置的基础上，本技术还提供了一种扫描电镜，包括：样品接入装置，此样品接入装置即为上述的样品接入装置。
96.由于此扫描电镜具有上述的样品接入装置，样品接入装置又具有上述的承载装夹组件、装夹台组件和定位组件，所以扫描电镜由承载装夹组件、装夹台组件和定位组件带来的有益效果请参见上述内容，在此不在赘述。
97.本技术中涉及的部件、装置仅作为例示性的例子并且不意图要求或暗示必须按照附图示出的方式进行连接、布置、配置。如本领域技术人员将认识到的，可以按任意方式连接、布置、配置这些部件、装置。诸如“包括”、“包含”、“具有”等等的词语是开放性词汇，指“包括但不限于”，且可与其互换使用。这里所使用的词汇“或”和“和”指词汇“和/或”，且可与其互换使用，除非上下文明确指示不是如此。这里所使用的词汇“诸如”指词组“诸如但不限于”，且可与其互换使用。
98.还需要指出的是，在本技术的装置中，各部件是可以分解和/或重新组合的。这些分解和/或重新组合应视为本技术的等效方案。
99.提供所公开的方面的以上描述以使本领域的任何技术人员能够做出或者使用本技术。对这些方面的各种修改对于本领域技术人员而言是非常显而易见的，并且在此定义的一般原理可以应用于其他方面而不脱离本技术的范围。因此，本技术不意图被限制到在此示出的方面，而是按照与在此公开的原理和新颖的特征一致的最宽范围。
100.为了例示和描述的目的已经给出了以上描述。此外，此描述不意图将本技术的实施例限制到在此公开的形式。尽管以上已经讨论了多个示例方面和实施例，但是本领域技术人员将认识到其某些变型、修改、改变、添加和子组合。
101.以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换等，均应包含在本技术的保护范围之内。
