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本发明涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种工艺腔室以及半导体工艺设备。背景技术、目前，集成电路芯片制备的后道工序中，物理气相沉积(physicalvapordeposition，pvd)中的磁控溅射是使用最广泛的技术之一。在cu互连pvd工

本发明属于电动汽车优化调度，尤其涉及一种基于动态电价的定步长电动汽车优化调度方法。背景技术、随着对电动汽车逐渐普及，大量电动汽车入网时对电网造成的负面影响也越大。vg技术的出现为减轻电动汽车充电时对电网造成的冲击提供了一种行之有效的方案，然

本技术涉及一种多参数环境模拟试验舱，属于环境模拟试验舱领域。背景技术、为了更好的在各种环境下进行设备的测试，通常会在环境模拟试验舱的内部模拟各种环境进行试验，但是目前大部分的环境模拟试验舱在改变环境参数的时候，往往只能从一个点逐渐改变，会导

本发明涉及教学质量评价，具体涉及一种多元化的教学评价方法及系统。背景技术、一般认为，课堂教学质量评价应包括课堂教学过程和课堂教学效果两方面的评价。前者主要是指对教师课堂教学内容的安排、教学结构的设计和授课方式方法等方面做出的评价；后者则是指

本技术涉及玻璃纤维网格布浸泡设备，具体为一种自粘玻璃纤维网格布浸泡设备。背景技术、玻璃纤维网格布是以玻璃纤维机织物为基材，经高分子抗乳液浸泡涂层，从而具有良好的抗碱性、柔韧性以及经纬向高度抗拉力，可被广泛用于建筑物内外墙体保温、防水、防火、

本发明涉及航班控制，尤其涉及计算空中过点时间的方法及系统。背景技术、国内现阶段航班在空中过航班限制点时间判断比较模糊，现有技术中此类型产品更是侧重于地面航班、空中航班隔离运行(即流量过大时将航班控制在地面上)，来避免空中具体某个航班限制点通

本申请涉及医疗设备领域，尤其是涉及一种医用病床用折叠餐桌。背景技术、医院中有的患者由于身体原因不方便下床，必须要在床上吃饭、写字，非常不方便，因此原来病床的基础上需要一个医用病床用餐桌，以便于为病人提供方便。、目前市场上存在的餐桌需要将护栏

本发明涉及植物饮料领域，特别是涉及一种保健食疗功能性代茶饮品领域。背景技术、雪莲果是一种集药，蔬、果三位一体的优秀蔬、果，富含多种对人体有益的营养素，特别还具有滋阴开胃，降火排毒，润肠利便，清肝解毒，调理血液，控糖化脂，提升人体免疫力和抵抗

本公开涉及光伏材料加工，具体涉及一种导电丝固定与调节结构和激光加工设备。背景技术、在光伏电池片表面电极与背面电极之间的接触电阻对电池填充因子和电池转换效率有很大的影响。接触电阻越低，填充因子和转换效率就越高。目前，电池片制造行业通过降低接触

本发明涉及破岩，特别涉及一种高压喷射破岩测试装置及系统。背景技术、高压喷射钻井技术是一种高效、安全、清洁的钻井技术，其将水力破岩技术与机械破岩技术相结合，注重水力喷射破岩的实施。、相较于普通喷射技术，高压喷射钻井技术能够有效提高机械钻速，在