1.本实用新型涉及化学机械抛光领域，特别涉及一种化学机械抛光液制备用搅拌釜。
背景技术：2.化学机械抛光，又称化学机械平坦化，是半导体器件制造工艺中的一种技术，用来对正在加工中的硅片或其它衬底材料进行平坦化处理。
3.现有的抛光液制备搅拌釜存在着一定不足，现有装置大多数的自动化性质不足，自动化性质好的装置成本高。
技术实现要素：4.本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种化学机械抛光液制备用搅拌釜。
5.本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：
6.一种化学机械抛光液制备用搅拌釜，包括承重台、收容罐、可调速电机、搅动叶、加热架，所述承重台上端设置有所述收容罐，所述收容罐上端设置有顶盖，所述顶盖两侧均设置有推杆，所述承重台上方设置有承重块，所述承重块内部设置有所述可调速电机，所述可调速电机输出端设置有传动轴，所述传动轴上端设置有旋转轴，所述旋转轴外围均匀设置有两个连接环，每个所述连接环外围都均匀设置有四个所述搅动叶，所述收容罐内壁两侧设置有所述加热架，所述承重块上端设置有搅动罐，所述收容罐一侧外壁设置有制冷液回收管，所述制冷液回收管一端设置有制冷液循环箱，所述制冷液循环箱一侧底部设置有制冷液输送管，所述搅动罐外壁一侧设置有收料管，所述收料管一端设置有收料箱。
7.优选地：所述承重台与所述收容罐焊接相连，所述收容罐与所述顶盖螺纹连接，所述顶盖与所述推杆焊接相连，所述收容罐与所述加热架螺栓连接。
8.如此设置，所述承重台与所述收容罐的焊接为所述收容罐的稳定性做出了保障，所述收容罐与所述顶盖的螺纹连接方便于所述顶盖的拆卸，所述顶盖与所述推杆的焊接保证了所述推杆的稳定性，所述收容罐与所述加热架的螺栓连接方便于所述加热架故障后的拆卸维修。
9.优选地：所述承重块与所述承重台焊接相连，所述承重块与所述搅动罐焊接相连，所述承重块与所述可调速电机焊接相连，所述可调速电机与所述传动轴过盈配合，所述传动轴与所述旋转轴焊接相连，所述旋转轴与所述连接环螺栓连接，所述连接环与所述搅动叶螺栓连接。
10.如此设置，所述承重块与所述承重台的焊接为所述承重块提供了可靠的稳定性，所述承重块与所述搅动罐的焊接为所述搅动罐的稳定性做出了保障，所述承重块与所述可调速电机的焊接为所述可调速电机在运转时的稳定性做出了保障，所述可调速电机与所述传动轴的过盈配合既能保证良好的稳定性也方便于设备故障后的拆卸维修，所述传动轴与
所述旋转轴的焊接为所述旋转轴的稳定性做出了保障，所述旋转轴与所述连接环的螺栓连接方便于拆卸，所述连接环与所述搅动叶的螺栓连接方便于拆卸。
11.优选地：所述收容罐与所述制冷液回收管螺纹连接，所述制冷液回收管与所述制冷液循环箱螺纹连接，所述制冷液循环箱与所述制冷液输送管焊接相连。
12.如此设置，所述收容罐与所述制冷液回收管的螺纹连接方便于拆卸，所述制冷液回收管与所述制冷液循环箱的螺纹连接方便于所述制冷液回收管老化或破损后的拆卸更换，所述制冷液循环箱与所述制冷液输送管的和螺纹连接方便于拆卸。
13.优选地：所述搅动罐与所述收料管焊接相连，所述收料管与所述收料箱螺栓连接。
14.如此设置，所述搅动罐与所述收料管的焊接为所述收料管的稳定性做出了保障，所述收料管与所述收料箱的螺栓连接方便于拆卸。
15.有益效果在于：装置中各设备的联动为装置提供了良好的自动化性质，装置所用的设备都是些常用设备，所以不会有太多额外的制造费用，不仅提高了效率减少了人力资源的浪费，还节约了装置成本。
附图说明
16.附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
17.图1是本实用新型所述一种化学机械抛光液制备用搅拌釜的轴测图；
18.图2是本实用新型所述一种化学机械抛光液制备用搅拌釜的主视图；
19.图3是本实用新型所述一种化学机械抛光液制备用搅拌釜的右剖视图；
20.图4是本实用新型所述一种化学机械抛光液制备用搅拌釜搅动叶零件放大图。
21.附图标记说明如下：
22.1、承重台；2、收容罐；3、顶盖；4、推杆；5、承重块；6、可调速电机；7、传动轴；8、旋转轴；9、连接环；10、搅动叶；11、加热架；12、搅动罐；13、制冷液回收管；14、制冷液循环箱；15、制冷液输送管；16、收料管；17、收料箱。
具体实施方式
23.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所述的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
24.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
25.下面通过实施例结合附图进一步说明本实用新型。
26.如图1-图4所示，一种化学机械抛光液制备用搅拌釜，包括承重台1、收容罐2、可调
速电机6、搅动叶10、加热架11，承重台1上端设置有收容罐2，收容罐2上端设置有顶盖3，顶盖3两侧均设置有推杆4，承重台1上方设置有承重块5，承重块5内部设置有可调速电机6，可调速电机6输出端设置有传动轴7，传动轴7上端设置有旋转轴8，旋转轴8外围均匀设置有两个连接环9，每个连接环9外围都均匀设置有四个搅动叶10，收容罐2内壁两侧设置有加热架11，承重块5上端设置有搅动罐12，收容罐2一侧外壁设置有制冷液回收管13，制冷液回收管13一端设置有制冷液循环箱14，制冷液循环箱14一侧底部设置有制冷液输送管15，搅动罐12外壁一侧设置有收料管16，收料管16一端设置有收料箱17。
27.优选地：承重台1与收容罐2焊接相连，收容罐2与顶盖3螺纹连接，顶盖3与推杆4焊接相连，收容罐2与加热架11螺栓连接，如此设置，承重台1与收容罐2的焊接为收容罐2的稳定性做出了保障，收容罐2与顶盖3的螺纹连接方便于顶盖3的拆卸，顶盖3与推杆4的焊接保证了推杆4的稳定性，收容罐2与加热架11的螺栓连接方便于加热架11故障后的拆卸维修；承重块5与承重台1焊接相连，承重块5与搅动罐12焊接相连，承重块5与可调速电机6焊接相连，可调速电机6与传动轴7过盈配合，传动轴7与旋转轴8焊接相连，旋转轴8与连接环9螺栓连接，连接环9与搅动叶10螺栓连接，如此设置，承重块5与承重台1的焊接为承重块5提供了可靠的稳定性，承重块5与搅动罐12的焊接为搅动罐12的稳定性做出了保障，承重块5与可调速电机6的焊接为可调速电机6在运转时的稳定性做出了保障，可调速电机6与传动轴7的过盈配合既能保证良好的稳定性也方便于设备故障后的拆卸维修，传动轴7与旋转轴8的焊接为旋转轴8的稳定性做出了保障，旋转轴8与连接环9的螺栓连接方便于拆卸，连接环9与搅动叶10的螺栓连接方便于拆卸；收容罐2与制冷液回收管13螺纹连接，制冷液回收管13与制冷液循环箱14螺纹连接，制冷液循环箱14与制冷液输送管15焊接相连，如此设置，收容罐2与制冷液回收管13的螺纹连接方便于拆卸，制冷液回收管13与制冷液循环箱14的螺纹连接方便于制冷液回收管13老化或破损后的拆卸更换，制冷液循环箱14与制冷液输送管15的和螺纹连接方便于拆卸；搅动罐12与收料管16焊接相连，收料管16与收料箱17螺栓连接，如此设置，搅动罐12与收料管16的焊接为收料管16的稳定性做出了保障，收料管16与收料箱17的螺栓连接方便于拆卸。
28.工作原理：工人们推动推杆4将顶盖3打开后将材料倒入搅动罐12内，看所加工的抛光液需要哪些要求，若是需要加热高速搅拌将可调速电机6速度调高后启动装置，可调速电机6带动传动轴7高速运转，传动轴7带动旋转轴8，旋转轴8带动旋转轴8上的搅动叶10对搅动罐12内进行高速搅拌，同时加热架11开始对其进行加热处理，若是需要制冷处理启动制冷液循环箱14对其进行制冷处理。
29.以上结合附图对本实用新型的优选实施方式做了详细说明，但本实用新型并不限于上述实施方式，在所属技术领域技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。
技术特征：1.一种化学机械抛光液制备用搅拌釜，其特征在于：包括承重台(1)、收容罐(2)、可调速电机(6)、搅动叶(10)、加热架(11)，所述承重台(1)上端设置有所述收容罐(2)，所述收容罐(2)上端设置有顶盖(3)，所述顶盖(3)两侧均设置有推杆(4)，所述承重台(1)上方设置有承重块(5)，所述承重块(5)内部设置有所述可调速电机(6)，所述可调速电机(6)输出端设置有传动轴(7)，所述传动轴(7)上端设置有旋转轴(8)，所述旋转轴(8)外围均匀设置有两个连接环(9)，每个所述连接环(9)外围都均匀设置有四个所述搅动叶(10)，所述收容罐(2)内壁两侧设置有所述加热架(11)，所述承重块(5)上端设置有搅动罐(12)，所述收容罐(2)一侧外壁设置有制冷液回收管(13)，所述制冷液回收管(13)一端设置有制冷液循环箱(14)，所述制冷液循环箱(14)一侧底部设置有制冷液输送管(15)，所述搅动罐(12)外壁一侧设置有收料管(16)，所述收料管(16)一端设置有收料箱(17)。2.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光液制备用搅拌釜，其特征在于：所述承重台(1)与所述收容罐(2)焊接相连，所述收容罐(2)与所述顶盖(3)螺纹连接，所述顶盖(3)与所述推杆(4)焊接相连，所述收容罐(2)与所述加热架(11)螺栓连接。3.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光液制备用搅拌釜，其特征在于：所述承重块(5)与所述承重台(1)焊接相连，所述承重块(5)与所述搅动罐(12)焊接相连，所述承重块(5)与所述可调速电机(6)焊接相连，所述可调速电机(6)与所述传动轴(7)过盈配合，所述传动轴(7)与所述旋转轴(8)焊接相连，所述旋转轴(8)与所述连接环(9)螺栓连接，所述连接环(9)与所述搅动叶(10)螺栓连接。4.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光液制备用搅拌釜，其特征在于：所述收容罐(2)与所述制冷液回收管(13)螺纹连接，所述制冷液回收管(13)与所述制冷液循环箱(14)螺纹连接，所述制冷液循环箱(14)与所述制冷液输送管(15)焊接相连。5.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光液制备用搅拌釜，其特征在于：所述搅动罐(12)与所述收料管(16)焊接相连，所述收料管(16)与所述收料箱(17)螺栓连接。
技术总结本实用新型公开了一种化学机械抛光液制备用搅拌釜，包括承重台、收容罐、可调速电机、搅动叶、加热架，所述承重台上端设置有所述收容罐，所述收容罐上端设置有顶盖，所述顶盖两侧均设置有推杆，所述承重台上方设置有承重块，所述承重块内部设置有所述可调速电机，所述可调速电机输出端设置有传动轴，所述传动轴上端设置有旋转轴，所述旋转轴外围均匀设置有两个连接环，每个所述连接环外围都均匀设置有四个所述搅动叶，所述收容罐内壁两侧设置有所述加热架；装置中各设备的联动为装置提供了良好的自动化性质，装置所用的设备都是些常用设备，所以不会有太多额外的制造费用，不仅提高了效率减少了人力资源的浪费，还节约了装置成本。本。本。
技术研发人员：刘龙
受保护的技术使用者：深圳市川菱科技有限公司
技术研发日：2021.12.15
技术公布日：2022/7/5
