本发明涉及用于将药液等液体供给至被涂敷物的液体供给装置。
背景技术：
1、用于将收容于液体容器的液体供给至被供给物的液体供给装置具有泵。专利文献1以及专利文献2所述的药液供给装置具备由在径向上自由膨胀收缩的挠性管即隔管构成的泵。收容于液体容器的光致抗蚀剂液、聚酰亚胺液等药液通过过滤器并由泵供给至被涂敷物的半导体晶圆的表面。
2、作为应用于液体供给装置的泵，不仅存在隔管泵，还存在具备在轴向上自由伸缩的挠性的波纹管的波纹管泵以及活塞以自由往复移动的方式装配于缸体的活塞泵等。小型的活塞泵也被称为注射泵。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本特开2000-120530号公报
6、专利文献2：日本特开2005-83337号公报
技术实现思路
1、发明要解决的技术问题
2、专利文献1所述的药液供给装置具有用于使从单一的泵排出的液体返回液体供给路径的上游侧、液体容器的返回流路，在没有从涂敷工具涂敷液体时，能够使液体经由返回流路而返回上游部。由此，液体多次通过过滤器被过滤，因此，能够通过过滤器除去液体所含的微小粒子换句话说颗粒、气泡等异物，能够减少涂敷于被涂敷物的液体所含的异物。
3、在具备单一的泵的药液供给装置中，使液体的循环次数增加需要使有限的时间内的液体的流量增加。然而，泵成为使向被涂敷物的涂敷量乃至涂敷动作最优化的构造，使该类型的泵的流量增加存在极限。
4、本发明的目的在于使在设置有过滤器的液体供给路径内循环的液体量增加且提高液体所含的异物的减少量。
5、解决技术问题的技术方案
6、本发明的液体供给装置是对向被涂敷物涂敷液体的涂敷工具供给液体收容部所收容的液体的液体供给装置，具有：第一泵以及第二泵，分别设置于液体供给路径，上述液体供给路径将收容于上述液体收容部的液体供给至上述涂敷工具；过滤器，对朝向上述涂敷工具流动的液体进行过滤；返回流路，使通过了上述过滤器的液体返回上述液体收容部；流路开闭阀，设置于上述第一泵与上述第二泵之间，且切换为切断上述第一泵与上述第二泵的连通的关闭状态和使它们连通的打开状态中的任一个；以及控制部，切换为向上述涂敷工具供给液体且停止液体向上述返回流路的供给的涂敷模式以及与向上述返回流路供给液体且停止液体向上述涂敷工具的供给的循环模式中的任一个，在上述涂敷模式下，上述第一泵与上述第二泵的一者向被涂敷物排出液体，在上述循环模式下，上述第一泵与上述第二泵的一者向上述返回流路排出液体，上述第一泵与上述第二泵连续地排出液体。
7、发明效果
8、在循环模式下液体连续地循环至返回流路，通过返回流路朝向液体收容部返回了的液体向液体供给路径供给，因此，液体多次通过过滤器，能够使液体所含的异物减少。由于具备第一和第二泵，所以能够在循环模式下始终使液体循环并且在涂敷模式下高精度地控制排出量。
1.一种液体供给装置，是对向被涂敷物涂敷液体的涂敷工具供给液体收容部所收容的液体的液体供给装置，所述液体供给装置具有：
2.根据权利要求1所述的液体供给装置，其中，
3.根据权利要求1所述的液体供给装置，其中，
4.根据权利要求2或3所述的液体供给装置，其中，
5.根据权利要求2或3所述的液体供给装置，其中，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的液体供给装置，其中，
7.根据权利要求1至6中任一项所述的液体供给装置，其中，
8.根据权利要求1至7中任一项所述的液体供给装置，其中，
9.根据权利要求1至7中任一项所述的液体供给装置，其中，
10.根据权利要求1至9中任一项所述的液体供给装置，其中，
11.根据权利要求1至10中任一项所述的液体供给装置，其中，
