本发明涉及一种信息处理装置、推导装置、机器学习装置、信息处理方法、推导方法、及机器学习方法。
背景技术：
1、作为对半导体晶片等基板进行各种基板处理的基板处理装置之一，已知有进行化学机械研磨(chemical mechanical polishing，cmp)处理的基板处理装置。此种基板处理装置例如包括：研磨单元，进行基板的研磨处理；精加工单元，进行研磨处理后的基板的精加工处理(例如清洗处理或干燥处理)；以及搬送单元，进行在各单元间搬送基板的搬送处理，且构成为，通过使各单元依次运行来执行一系列的处理(例如参照专利文献1)。
2、[现有技术文献]
3、[专利文献]
4、[专利文献1]日本专利特开2007-301690号公报
技术实现思路
1、[发明所要解决的问题]
2、作为对基板处理装置的运转进行管理时的指标，使用每单位时间的基板的处理片数(单位时间处理片数)。在基板处理装置中，一边参照装置设定信息或配方信息等各种参数群，一边使各单元所具有的各种机械性的机构群协同运行。因此，在单位时间处理片数的实测值与单位时间处理片数的目标值背离的情况下，作为对基板处理装置的状态进行诊断的作业，对各种参数群中的哪个设定值产生了影响，抑或是各种机械性的机构群中的哪个调整状态产生了影响等原因进行确定，需要实施其对策。然而，由于各种参数群或机构群复杂地关联，为了迅速且准确地进行原因的确定或对策的实施，要求高度的见解或丰富的经验，是难度高的作业。
3、本发明鉴于所述课题，其目的在于提供一种能够迅速且准确地对基板处理装置的状态进行诊断的信息处理装置、推导装置、机器学习装置、信息处理方法、推导方法以及机器学习方法。
4、[解决问题的技术手段]
5、为了实现所述目的，本发明的一实施例的信息处理装置对基板处理装置的状态进行诊断，所述基板处理装置包括：基板处理单元，进行对基板的基板处理；以及搬送处理单元，进行对所述基板处理前及所述基板处理后的基板予以搬送的搬送处理，所述信息处理装置包括：
6、基准信息获取部，获取基准处理片数及基准装置信息以作为基准信息，所述基准处理片数表示在成为基准的相当于所述基板处理装置的基准装置中执行反复进行所述基板处理及所述搬送处理的基准处理动作时的每单位时间的所述基板的处理片数，所述基准装置信息与执行所述基准处理动作时的所述基准装置相关；
7、比较信息获取部，获取比较处理片数及比较装置信息以作为比较信息，所述比较处理片数表示在成为所述基准装置的比较对象的相当于所述基板处理装置的比较装置中执行反复进行所述基板处理及所述搬送处理的比较处理动作时的每单位时间的所述基板的处理片数，所述比较装置信息与执行所述比较处理动作时的所述比较装置相关；以及
8、诊断处理部，基于由所述基准信息获取部获取的所述基准信息与由所述比较信息获取部获取的所述比较信息，生成包含所述基准处理片数与所述比较处理片数产生差异时的原因、及用于消除所述差异的对策中的至少一个的诊断信息。
9、[发明的效果]
10、根据本发明的一实施例的信息处理装置，诊断处理部基于包含成为基准的相当于基板处理装置的基准装置中的基准处理片数及基准装置信息的基准信息、以及包含成为基准装置的比较对象的相当于基板处理装置的比较装置中的比较处理片数及比较装置信息的比较信息，生成包含基准处理片数与比较处理片数产生差异时的原因、及用于消除所述差异的对策中的至少一个的诊断信息。因此，在基准处理片数与比较处理片数产生了差异时，可迅速且准确地对基板处理装置的状态进行诊断。
11、所述以外的课题、结构以及效果将通过后述的具体实施方式而变得明确。
1.一种信息处理装置，对基板处理装置的状态进行诊断，所述基板处理装置包括：基板处理单元，进行对基板的基板处理；以及搬送处理单元，进行对所述基板处理前及所述基板处理后的基板予以搬送的搬送处理，所述信息处理装置包括：
2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，所述基准装置信息包含装置设定信息、配方信息、消耗品信息、及事件信息中的至少一个，
3.根据权利要求2所述的信息处理装置，其中，
4.根据权利要求3所述的信息处理装置，其中，
5.根据权利要求2至4中任一项所述的信息处理装置，其中，
6.根据权利要求1至4中任一项所述的信息处理装置，其中，
7.一种推导装置，包括存储器及处理器，
8.一种机器学习装置，生成用于对基板处理装置的状态进行诊断的学习模型，所述基板处理装置包括：基板处理单元，进行对基板的基板处理；以及搬送处理单元，进行对所述基板处理前及所述基板处理后的基板予以搬送的搬送处理，所述机器学习装置包括：
9.一种信息处理方法，对基板处理装置的状态进行诊断，所述基板处理装置包括：基板处理单元，进行对基板的基板处理；以及搬送处理单元，进行对所述基板处理前及所述基板处理后的基板予以搬送的搬送处理，所述信息处理方法包括如下工序：
10.一种推导方法，由推导装置来执行，所述推导装置包括存储器与处理器，
11.一种机器学习方法，生成用于对基板处理装置的状态进行诊断的学习模型，所述基板处理装置包括：基板处理单元，进行对基板的基板处理；以及搬送处理单元，进行对所述基板处理前及所述基板处理后的基板予以搬送的搬送处理，所述机器学习方法包括如下工序：
