本发明涉及晶圆传送盒查询,具体为基于大数据的电子货架管理系统。
背景技术:
1、foup即晶圆传送盒,是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器,其内部可以容纳25片的300mm晶圆,而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器,是一种专属于12吋(300mm)晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器;
2、晶圆传送盒需要通过货架进行存放,而现有的晶圆传送盒货架存在无法对晶圆传送盒进行精准定位和显示晶圆传送盒的信息,导致产线人工查找晶圆传送盒费时费力和不准确。
技术实现思路
1、本发明的目的在于为了解决现有的晶圆传送盒货架存在无法对晶圆传送盒进行精准定位和显示晶圆传送盒的信息,导致产线人工查找晶圆传送盒费时费力和不准确的问题,而提出基于大数据的电子货架管理系统。
2、本发明的目的可以通过以下技术方案实现:基于大数据的电子货架管理系统,包括电子货架与上位机,所述上位机内设置有:
3、整体监控模块,用于实时显示系统所有货架的状态以及点击任意货架查看货架所有货位详情,包括若干个显示格,每个显示格对应一个货架,显示格格子颜色不同代表货架的不同状态;货位详情包括货位显示区和设置在货位显示区内的内容;
4、基础数据模块,用于系统基础数据设置,包括工厂管理、区域管理、位置管理、报警代码、枚举管理以及枚举值管理设置页面;
5、货架管理模块,包括货架列表单元、货位列表单元和实时报警单元;货架列表单元用于显示系统所有货架详细信息,并对系统货架进行添加、修改和删除操作;货位列表单元用于显示货位的信息以及用户查找foup和lot信息和清空查询条件;实时报警单元用于显示货架的实时报警数据;
6、历史记录模块,包括存放记录单元、货架历史单元和报警历史单元;所述存放记录单元用于查询到foup所有的拿放记录和时间以及对应的货架和货位等信息;货架历史单元用于输入货架编码、状态、时间查询货架的状态以及清除所有查询条件;报警历史单元用于在条件框中输入货架名称、报警类型、开始时间和结束时间点击查询按钮查询以及点击刷新按钮刷新当前页面、点击九宫格选中所需参数确认和点击还原按钮恢复到所有参数展示。
7、作为本发明的一种优选实施方式,所述电子货架上设置有若干个货位,每个货位均为包括光电感应器以及货位通讯模块,每个货位通过网线串联并通过网络通讯与上位机进行通讯。
8、作为本发明的一种优选实施方式,所述显示格内设置有货架区域、货架名字、货架状态以及foup数量;货架区域为黑色加粗字体ab为区域名称,根据工厂区域进行分区设置;货架名字为白色字体并显示于长方形框中;货架状态包括红色和绿色,其中绿色代表正常运行,红色代表故障,包括读取foup id失败或与货架通讯中断;foup数量为当前货架放置foup的总数。
9、作为本发明的一种优选实施方式,所述每个货位显示区对应三个颜色,分别为绿色、灰色和红色;绿色表示为当前货位有foup,且正确识别foup id;灰色表示为货位处于空闲状态,当前无foup;红色表示故障或foup id读取超时或失败或货架底层子板通讯异常;内容包括货位编码、foup id、foup存储状态、最近一次存储时间和lot信息。
10、作为本发明的一种优选实施方式,所述添加操作为新货架接入系统后在此处添加新的货架信息;修改操作为选中待修改货架的编辑按钮,点击修改标记,按需修改信息合并点击保存;删除操作为选中要删除的数据,点击操作栏的删除按钮进行确定删除。
11、作为本发明的一种优选实施方式,所述实时报警数据包括报警序号、时间、编码、报警货架名称、对应货架货位编码、故障等级及故障内容并按照报警产生时间降序排序。
12、作为本发明的一种优选实施方式,还包括登录模块,登录模块用于使用者输入正确的账号和密码并点击登录进入电子货架管理系统。
13、与现有技术相比,本发明的有益效果是:
14、1、本发明通过整体监控模块实时显示系统所有货架的状态以及货位详情以及货架管理模块显示系统所有货架详细信息、货位的信息和货架的实时报警数据,方便为生产管理者提供实时foup位置信息,使得foup的查找快速、准确、灵活和高效;
15、2、本发明通过实时报警单元用于显示货架的实时报警数据,方便生产管理者查看实时报警数据,以便于生产管理者及时去处理对应货位的异常情况。
1.基于大数据的电子货架管理系统,包括电子货架与上位机,其特征在于,所述上位机内设置有:
2.根据权利要求1所述的基于大数据的电子货架管理系统,其特征在于,所述电子货架上设置有若干个货位,每个货位均为包括光电感应器以及货位通讯模块,每个货位通过网线串联并通过网络通讯与上位机进行通讯。
3.根据权利要求1所述的基于大数据的电子货架管理系统,其特征在于,所述显示格内设置有货架区域、货架名字、货架状态以及foup数量;货架区域为黑色加粗字体ab为区域名称,根据工厂区域进行分区设置;货架名字为白色字体并显示于长方形框中;货架状态包括红色和绿色,其中绿色代表正常运行,红色代表故障,包括读取foup id失败或与货架通讯中断;foup数量为当前货架放置foup的总数。
4.根据权利要求3所述的基于大数据的电子货架管理系统,其特征在于,所述每个货位显示区对应三个颜色,分别为绿色、灰色和红色;绿色表示为当前货位有foup,且正确识别foup id;灰色表示为货位处于空闲状态,当前无foup;红色表示故障或foup id读取超时或失败或货架底层子板通讯异常;内容包括货位编码、foup id、foup存储状态、最近一次存储时间和lot信息。
5.根据权利要求4所述的基于大数据的电子货架管理系统,其特征在于,所述添加操作为新货架接入系统后在此处添加新的货架信息;修改操作为选中待修改货架的编辑按钮,点击修改标记,按需修改信息合并点击保存;删除操作为选中要删除的数据,点击操作栏的删除按钮进行确定删除。
6.根据权利要求5所述的基于大数据的电子货架管理系统,其特征在于,所述实时报警数据包括报警序号、时间、编码、报警货架名称、对应货架货位编码、故障等级及故障内容并按照报警产生时间降序排序。
7.根据权利要求6所述的基于大数据的电子货架管理系统,其特征在于,还包括登录模块,登录模块用于使用者输入正确的账号和密码并点击登录进入电子货架管理系统。