1.本发明涉及机械设备领域，具体地涉及一种进给机构及具有其的减薄机。
背景技术：2.在一些机械设备中，进给机构包括用于规定出进料通道的轨道板，以及设置在轨道板之间的样品载台，通过进给机构传送物品时，进给机构的轨道板之间距离需要与产品的宽短尺寸所适配，针对客户产品的宽度规格非常多的情况，通常会设计出间距可调的轨道板，但每当需要对轨道板间距进行调整时，也需要同步对样品载台所在位置进行调整，操作麻烦且精确度差。
技术实现要素：3.本发明的目的在于提供一种进给机构及具有其的减薄机。
4.本发明提供一种进给机构，包括：基台、第一轨道板、第二轨道板、变轨传动杆、样品载台和连杆组；
5.所述第一轨道板和所述第二轨道板平行于进料方向设置于所述基台上，所述变轨传动杆分别与所述第一轨道板以及所述第二轨道板相接且分别与两者相垂直设置，所述第一轨道板和所述第二轨道板中至少有一个沿所述变轨传动杆轴向可动设置；
6.所述样品载台可动套设于所述变轨传动杆；
7.所述连杆组包括第一驱动连杆组、第二驱动连杆组和从动连杆；
8.所述第一驱动连杆组和所述第二驱动连杆组分别转动连接于所述第一轨道板和第二轨道板，所述第一驱动连杆组和所述第二驱动连杆组末端共同转动连接于所述从动连杆，所述第一驱动连杆组和所述第二驱动连杆组以所述从动连杆中心为中心呈中心对称分布；
9.所述从动连杆中心处转动连接于所述样品载台，且转动连接点位于所述样品载台与进料方向平行的中轴面处，所述第一轨道板和所述第二轨道板相对运动时，所述从动连杆带动所述样品载台沿所述变轨传动杆运动。
10.作为本发明的进一步改进，所述第一驱动连杆组包括第一连杆，所述第二驱动连杆组包括第二连杆，所述第一连杆和所述第二连杆等长，所述第一连杆转动连接于所述第一轨道板，所述第二连杆转动连接于所述第二轨道板，所述第一连杆和所述第二连杆末端共同转动连接于所述从动连杆。
11.作为本发明的进一步改进，所述进给机构还包括至少一个变轨距导轨副，所述变轨距导轨副包括垂直于进料方向设置的变轨距导轨和可动设置于所述变轨距导轨上的变轨距运动件，所述第二轨道板和所述变轨距导轨固定设置于所述基台，所述第一轨道板固定设置于所述变轨距运动件上。
12.作为本发明的进一步改进，所述进给机构包括两个所述变轨距导轨副，分别为第一导轨副和第二导轨副，所述第一导轨副包括第一导轨和第一运动件，所述第二导轨副包
括第二导轨和第二运动件，所述第一导轨和所述第二导轨分别设置于所述变轨传动杆两侧。
13.作为本发明的进一步改进，所述变轨传动杆为变轨丝杆，其具有相对的第一端和第二端，所述变轨丝杆第一端设置于所述第一轨道板上，所述第二轨道板上设置有与所述变轨丝杆匹配的第一变轨丝杆孔，所述变轨丝杆第二端穿过所述第一变轨丝杆孔，所述变轨丝杆转动时，带动所述第一轨道板运动，并与所述第二轨道板发生相对运动。
14.作为本发明的进一步改进，所述进给机构还包括设置于所述基台的驱动电机，所述驱动电机通过联轴器和所述变轨丝杆连接，所述驱动电机驱动所述变轨丝杆以顺时针或逆时针方向转动。
15.作为本发明的进一步改进，所述第一轨道板还包括固定设于其上的丝杆固定座，所述变轨丝杆第一端设置于所述丝杆固定座内，所述变轨丝杆转动时，通过所述丝杆固定座带动所述第一轨道板运动。
16.作为本发明的进一步改进，所述第一连杆转动连接于所述丝杆固定座底部，两者连接点位于所述变轨丝杆正下方。
17.作为本发明的进一步改进，所述第二轨道板还包括固定设于其底部的连杆固定座，所述第二连杆转动连接于所述连杆固定座底部，两者连接点位于所述变轨丝杆正下方。
18.作为本发明的进一步改进，所述样品载台设置有与所述变轨丝杆匹配的第二变轨丝杆孔，所述变轨丝杆穿过所述第二变轨丝杆孔，所述从动连杆转动连接于所述样品载台底部，所述从动连杆运动时，带动所述样品载台沿所述变轨丝杆运动。
19.作为本发明的进一步改进，所述基台设置有贯通其上下表面的窗口区，所述第一驱动连杆组、所述第二驱动连杆组和所述从动连杆设置于所述窗口区内。
20.作为本发明的进一步改进，所述进给机构还包括至少一个载台导轨副，所述载台导轨副包括垂直于进料方向设置的载台导轨和可动设置于所述载台导轨上的载台运动件，所述载台导轨固定设置于所述基台，所述样品载台固定设置于所述载台运动上。
21.作为本发明的进一步改进，所述进给机构包括两个所述载台导轨副，分别为第三导轨副和第四导轨副，所述第三导轨副包括第三导轨和第三运动件，所述第四导轨副包括第四导轨和第四运动件，所述第三导轨和所述第四导轨分别设置于所述变轨传动杆两侧。
22.本发明还提供一种减薄机，所述减薄机包括上述进给机构
23.本发明的有益效果是：本发明提供的进给结构，通过在能够调整间距的第一轨道板和第二轨道板之间设置连杆组，使得受连杆组驱动控制的样品承载台能够在轨道板进行间距调整时，始终自适应保持在两轨道板中心位置，无需进行额外的调试，便捷性高的同时具有优良的精确度，并且进给机构整体结构简单，连杆组整体结构以纯机械方式实现，可靠性高。
附图说明
24.图1是本发明一实施方式中的进给机构示意图。
25.图2是本发明一实施方式中的进给机构俯视图。
26.图3是本发明一实施方式中的进给机构仰视图。
具体实施方式
27.为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术具体实施方式及相应的附图对本技术技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施方式仅是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
28.下面详细描述本发明的实施方式，实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
29.为方便说明，本文使用表示空间相对位置的术语来进行描述，例如“上”、“下”、“后”、“前”等，用来描述附图中所示的一个单元或者特征相对于另一个单元或特征的关系。空间相对位置的术语可以包括设备在使用或工作中除了图中所示方位以外的不同方位。例如，如果将图中的装置翻转，则被描述为位于其他单元或特征“下方”或“上方”的单元将位于其他单元或特征“下方”或“上方”。因此，示例性术语“下方”可以囊括下方和上方这两种空间方位。
30.本实施方式提供一种进给机构，其可应用于晶圆减薄机，作为减薄机的物料进给机构，在其他实施方式中，本发明所提供的进给机构也可用于其他装置。
31.如图1、图2和图3所示，进给机构包括：基台1、第一轨道板2、第二轨道板3、变轨传动杆4、样品载台5和连杆组6。
32.基台1用于承载进给机构各部件，基台1具有相对的上表面和下表面，在本实施方式中，其上、下表面呈长方形，其中，长边所在方向为进料方向。
33.第一轨道板2和第二轨道板3平行于进料方向设置于基台1上，变轨传动杆4分别与第一轨道板2以及第二轨道板3相接且与分别与两者相垂直设置，第一轨道板2和第二轨道板3中至少有一个沿变轨传动杆4轴向可动设置。
34.第一轨道板2和第二轨道板3上分别设置有传送皮带71和传动轮组72，第一轨道板2和第二轨道板3之间设置有滚珠花键8，滚珠花键8驱动电机通过控制滚珠花键8来使驱动传动轮组72带动传送皮带71沿进料方向运动。当进给机构开始工作时，产品被置于传送皮带71上，于第一轨道板2和第二轨道板3之间沿传送皮带71运动。
35.第一轨道板2与第二轨道板3之间沿变轨传动杆4可动设置，从而可以根据不同产品的宽度尺寸而对第一轨道板2和第二轨道板3之间的距离进行调整，以使进给机构能够适用于不同宽度尺寸产品的测量需求。
36.示例性的，在本实施方中，基台1上设置有第一轨道板2和第二轨道板3，第一轨道板2为活动轨道板，第二轨道板3为固定轨道板，在第一轨道板2和第二轨道板3之间形成一条物料进给通道。在本发明的其他实施方式中，也可设置多条平行于进料方向的轨道板，相邻轨道板之间可动设置，从而形成多条物料进给通道。
37.进一步的，进给机构还包括至少一个变轨距导轨副21，变轨距导轨副21包括垂直于进料方向设置的变轨距导轨211和可动设置于变轨距导轨211上的变轨距运动件212，第二轨道板3和变轨距导轨211固定设置于基台1，第一轨道板2固定设置于变轨距运动件212上，第一轨道板2能够通过变轨距运动件212在变轨距导轨211上滑动，从而实现第一轨道板2和第二轨道板3之间的相对运动，由于变轨距导轨211与变轨传动杆4平行，即，第一轨道板
2沿变轨传动杆4的轴向可动设置。
38.在本发明的其他实施方式中，也可将第一轨道板2和第二轨道板3均设置为可动的，或也可将运动件集成设置在第一轨道板2上，使得第一轨道板2直接在变轨距导轨211上滑动设置。
39.具体的，在本实施方式中，进给机构包括两个变轨距导轨副21，分别为第一导轨副21a和第二导轨副21b，第一导轨副21a包括第一导轨211a和第一运动件212a，第二导轨副21b包括第二导轨211b和第二运动件212b，第一导轨211a和第二导轨211b分别设置于变轨传动杆4两侧，分设在变轨传动杆4两侧的导轨对第一轨道板2运动导向更加精确，并且使进给机构的结构更加稳定。
40.在本发明的其他实施方式中，根据进给装置实际应用领域，第一轨道板2和第二轨道板3的长度可以进行具体调整，并适应性调整变轨距导轨副21的数量，使得进给机构的结构更加稳定。
41.样品载台5可动套设于变轨传动杆4，样品载台5对来料起到支撑作用或者可用于承载来料。示例性的，在本实施方式中，样品载台5具有呈长方形的平整上表面，以起到承载晶圆的作用，其设置在基台1长边中心位置处。进一步的，进给机构还包括至少一个载台导轨副51，载台导轨副51包括垂直于进料方向设置的载台导轨511和可动设置于导轨上的载台运动件512，载台导轨511固定设置于基台1，样品载台5固定设置于载台运动件512上。样品载台5能够通过载台运动件512在载台导轨511上滑动，从而对样品载台5起到运动导向作用，并使进给机构结构更加稳定。
42.具体的，在本实施方式中，进给机构包括两个载台导轨副51，分别为第三导轨副51a和第四导轨副51b，第三导轨副51a包括第三导轨511a和第三运动件512a，第四导轨副51b包括第四导轨511b和第四运动件512b，第三导轨511a和第四导轨511b分别设置于变轨传动杆4两侧。分设在变轨传动杆4两侧的载台导轨副51能够保证样品载台5的表面平整度，避免在往复运动过程中，出现样品载台5倾转的情况。
43.在本发明的其他实施方式中，根据进给装置实际应用领域，样品载台5的尺寸及形状等参数可以进行具体调整，并适应性调整载台导轨副51的数量，以保证样品载台5在使用过程中的可靠性。
44.连杆组6包括第一驱动连杆组61、第二驱动连杆组62和从动连杆63。第一驱动连杆组61和第二驱动连杆组62分别转动连接于第一轨道板2和第二轨道板3，第一驱动连杆组61和第二驱动连杆组62末端共同转动连接于从动连杆63，第一驱动连杆组61和第二驱动连杆组62以从动连杆63中心为中心呈中心对称分布。即第一驱动连杆组61能够分别以其两处连接点相对于第一轨道板2和从动连杆63转动，第二驱动连杆组62能够分别以其两处连接点相对于第二轨道板3和从动连杆63转动。
45.进一步的，从动连杆63中心处转动连接于样品载台5，且转动连接点位于样品载台5与进料方向平行的中轴面处，第一轨道板2和第二轨道板3相对运动时，从动连杆63带动样品载台5沿变轨传动杆4运动。
46.在连杆组6中，由于第一驱动连杆组61和第二驱动连杆组62以从动连杆63中心为中心呈中心对称分布，即连杆组6的整体结构上也为以从动连杆63中心为中心呈中心对称。而从动连杆63的中心点处转动连接于样品载台5，其只能绕连接点转动，并且变轨传动杆4
限制了样品载台5只能沿其运动，因此，当第一轨道板2运动时，通过连杆之间的转动调整，连杆组6整体也是时刻保持为以从动连杆63中心为中心呈中心对称，即第一驱动连杆组61相对于第一轨道板2和从动连杆63之间转动的角度分别与第二驱动连杆组62相对于第二轨道板3和从动连杆63之间转动的角度相同。此时，从动连杆63与样品载台5的连接点始终位于第一轨道板2和第二轨道板3之间中心的位置，并且，由于转动连接点位于样品载台5与进料方向平行的中轴面处，即样品载台5在第一轨道板2的运动过程中，也始终保持在第一轨道板2和第二轨道板3之间中心的位置。
47.根据上文所述可知，第一轨道板2在运动时，通过连杆组6的设置可以使得样品载台5始终自适应保持在第一轨道板2和第二轨道板3的中间位置处，无需操作人员额外对样品载台5进行调整，操作便捷，进给结构整体结构简洁的同时位置精度高。
48.需要说明的是，这里所述的第一驱动连杆组61和第二驱动连杆组62所采取的为一较宽泛的说法，其分别可能只包含一根连杆，而非至少需要包括多根连杆。
49.具体的，在本实施方式中，第一驱动连杆组61包括第一连杆61a，第二驱动连杆组62包括第二连杆62a，第一连杆61a和第二连杆62a等长。第一连杆61a转动连接于第一轨道板2，其转动连接点与变轨传动杆4处于同一竖直面。第二连杆62a转动连接于第二轨道板3，其转动连接点与变轨传动杆4处于同一竖直面。第一连杆61a和第二连杆62a末端共同转动连接于从动连杆63。即在平面上，第一连杆61a、从动连杆63和变轨传动杆4构成第一三角形；第二连杆62a、从动连杆63和变轨传动杆4构成第二三角形，随着第一轨道板2的运动，第一三角形和第二三角形随时保持为全等三角形。通过三根连杆组6成连杆组6，结构简单稳定，可靠性高，并且在使用过程中易于调整及维护修理。
50.在本发明的其他实施方式中，也可通过设置多个连杆或设置其他结构件组成驱动连杆组6，只要满足上述结构条件即可。
51.进一步的，基体设置有贯通其上下表面的窗口区11，第一驱动连杆组61、第二驱动连杆组62和从动连杆63设置于窗口区11内，窗口区11为连杆组6的运动提供空间，并且，当需要对连杆组6进行调整或更换维修时，可以在基台1下方通过窗口区11来进行操作。
52.变轨传动杆4为变轨丝杆4a，其具有相对的第一端和第二端，变轨丝杆4a第一端设置于第一轨道板2上，第二轨道板3上设置有与变轨丝杆4a匹配的第一变轨丝杆孔31，变轨丝杆4a第二端穿过第一变轨丝杆孔31，变轨丝杆4a转动时，变轨丝杆4a转动时，带动第一轨道板2运动，并与第二轨道板3发生相对运动。
53.进一步的，进给机构还包括设置于基台1的驱动电机9，驱动电机9通过联轴器和变轨丝杆4a连接，驱动电机9驱动变轨丝以顺时针或逆时针方向转动，从而带动第一轨道板2运动。
54.进一步的，第一轨道板2还包括固定设于其上的丝杆固定座22，变轨丝杆4a第一端设置于丝杆固定座22内，变轨丝杆4a转动时，通过丝杆固定座22带动第一轨道板2运动。
55.具体的，在本实施方式中，第一连杆61a转动连接于丝杆固定座22底部，两者连接点位于变轨丝杆4a正下方。第二轨道板3还包括固定设于其底部的连杆固定座32，第二连杆62a转动连接于连杆固定座32底部，两者连接点位于变轨丝杆4a正下方。在本发明的其他实施方式中，也可采用其他方式将第一连杆61a和第二连杆62a转动连接，如直接将其转动连接于轨道板上等。
56.进一步的，样品载台5设置有与变轨丝杆4a匹配的第二变轨丝杆孔51，变轨丝杆4a穿过第二变轨丝杆孔，从动连杆63转动连接于样品载台5底部，从动连杆63运动时，带动样品载台5沿变轨丝杆4a运动。
57.下面就一个产品在进给机构上的工作流程进行说明：
58.s1：根据待检测产品宽度规格，通过驱动电机9驱动变轨丝杆4a转动来调整第一轨道板2和第二轨道板3之间的距离，使其与待检测产品适配。
59.s2：待检测产品被置于第一轨道板2和第二轨道板3上的传送皮带71上，随传送皮带71沿进料方向开始运动。
60.s3：当待检测产品运动至样品载台5处时，检测装置对待检测产品进行检测。
61.s3：检测完成后，待检测产品继续沿进料方向向下流转。
62.本发明还提供一种减薄机，其包括如上述的进给机构。
63.综上所述，本发明提供的进给结构，通过在能够调整间距的第一轨道板和第二轨道板之间设置连杆组，使得受连杆组驱动控制的样品承载台能够在轨道板进行间距调整时，始终自适应保持在两轨道板中心位置，无需进行额外的调试，便捷性高的同时具有优良的精确度，并且进给机构整体结构简单，连杆组整体结构以纯机械方式实现，可靠性高。
64.应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
65.上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施方式的具体说明，并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本发明的保护范围之内。
技术特征：1.一种进给机构，其特征在于，包括：基台、第一轨道板、第二轨道板、变轨传动杆、样品载台和连杆组；所述第一轨道板和所述第二轨道板平行于进料方向设置于所述基台上，所述变轨传动杆分别与所述第一轨道板以及所述第二轨道板相接且分别与两者相垂直设置，所述第一轨道板和所述第二轨道板中至少有一个沿所述变轨传动杆轴向可动设置；所述样品载台可动套设于所述变轨传动杆；所述连杆组包括第一驱动连杆组、第二驱动连杆组和从动连杆；所述第一驱动连杆组和所述第二驱动连杆组分别转动连接于所述第一轨道板和第二轨道板，所述第一驱动连杆组和所述第二驱动连杆组末端共同转动连接于所述从动连杆，所述第一驱动连杆组和所述第二驱动连杆组以所述从动连杆中心为中心呈中心对称分布；所述从动连杆中心处转动连接于所述样品载台，且转动连接点位于所述样品载台与进料方向平行的中轴面处，所述第一轨道板和所述第二轨道板相对运动时，所述从动连杆带动所述样品载台沿所述变轨传动杆运动。2.根据权利要求1所述的进给机构，其特征在于，所述第一驱动连杆组包括第一连杆，所述第二驱动连杆组包括第二连杆，所述第一连杆和所述第二连杆等长，所述第一连杆转动连接于所述第一轨道板，所述第二连杆转动连接于所述第二轨道板，所述第一连杆和所述第二连杆末端共同转动连接于所述从动连杆。3.根据权利要求2所述的进给机构，其特征在于，所述进给机构还包括至少一个变轨距导轨副，所述变轨距导轨副包括垂直于进料方向设置的变轨距导轨和可动设置于所述变轨距导轨上的变轨距运动件，所述第二轨道板和所述变轨距导轨固定设置于所述基台，所述第一轨道板固定设置于所述变轨距运动件上。4.根据权利要求3所述的进给机构，其特征在于，所述进给机构包括两个所述变轨距导轨副，分别为第一导轨副和第二导轨副，所述第一导轨副包括第一导轨和第一运动件，所述第二导轨副包括第二导轨和第二运动件，所述第一导轨和所述第二导轨分别设置于所述变轨传动杆两侧。5.根据权利要求4所述的进给机构，其特征在于，所述变轨传动杆为变轨丝杆，其具有相对的第一端和第二端，所述变轨丝杆第一端设置于所述第一轨道板上，所述第二轨道板上设置有与所述变轨丝杆匹配的第一变轨丝杆孔，所述变轨丝杆第二端穿过所述第一变轨丝杆孔，所述变轨丝杆转动时，带动所述第一轨道板运动，并与所述第二轨道板发生相对运动。6.根据权利要求5所述的进给机构，其特征在于，所述进给机构还包括设置于所述基台的驱动电机，所述驱动电机通过联轴器和所述变轨丝杆连接，所述驱动电机驱动所述变轨丝杆以顺时针或逆时针方向转动。7.根据权利要求5所述的进给机构，其特征在于，所述第一轨道板还包括固定设于其上的丝杆固定座，所述变轨丝杆第一端设置于所述丝杆固定座内，所述变轨丝杆转动时，通过所述丝杆固定座带动所述第一轨道板运动。8.根据权利要求7所述的进给机构，其特征在于，所述第一连杆转动连接于所述丝杆固定座底部，两者连接点位于所述变轨丝杆正下方。9.根据权利要求8所述的进给机构，其特征在于，所述第二轨道板还包括固定设于其底
部的连杆固定座，所述第二连杆转动连接于所述连杆固定座底部，两者连接点位于所述变轨丝杆正下方。10.根据权利要求5所述的进给机构，其特征在于，所述样品载台设置有与所述变轨丝杆匹配的第二变轨丝杆孔，所述变轨丝杆穿过所述第二变轨丝杆孔，所述从动连杆转动连接于所述样品载台底部，所述从动连杆运动时，带动所述样品载台沿所述变轨丝杆运动。11.根据权利要求1所述的进给机构，其特征在于，所述基台设置有贯通其上下表面的窗口区，所述第一驱动连杆组、所述第二驱动连杆组和所述从动连杆设置于所述窗口区内。12.根据权利要求1所述的进给机构，其特征在于，所述进给机构还包括至少一个载台导轨副，所述载台导轨副包括垂直于进料方向设置的载台导轨和可动设置于所述载台导轨上的载台运动件，所述载台导轨固定设置于所述基台，所述样品载台固定设置于所述载台运动上。13.根据权利要求12所述的进给机构，其特征在于，所述进给机构包括两个所述载台导轨副，分别为第三导轨副和第四导轨副，所述第三导轨副包括第三导轨和第三运动件，所述第四导轨副包括第四导轨和第四运动件，所述第三导轨和所述第四导轨分别设置于所述变轨传动杆两侧。14.一种减薄机，其特征在于，所述减薄机包括如权利要求1至13中任一项所述的进给机构。
技术总结本发明提供一种进给机构和具有其的减薄机，涉及机械设备领域，所述进给机构通过在能够调整间距的第一轨道板和第二轨道板之间设置连杆组，使得受连杆组驱动控制的样品承载台能够在轨道板进行间距调整时，始终自适应保持在两轨道板中心位置，无需进行额外的调试，便捷性高的同时具有优良的精确度，并且进给机构整体结构简单，连杆组整体结构以纯机械方式实现，可靠性高。可靠性高。可靠性高。
技术研发人员：孙庆平 程晔
受保护的技术使用者：苏州明昌正光电科技有限公司
技术研发日：2022.05.05
技术公布日：2022/7/5
